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AE射頻電源 Pinnacle
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產品名稱:
AE射頻電源 Pinnacle
產品型號:
MDX Pinnacle
產品展商:
AE電源
產品文檔:
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簡單介紹
MDX 系列1 kW 和1.5 kW 電源在真空環(huán)境中經久耐用,其小巧的尺寸使其成為實驗室系統(tǒng)的理想解決方案。它們常用作直流磁控濺射電源;在該領域,二者精密的調節(jié)性能的滅弧功能和較低的存儲輸出能量使之成為業(yè)界產品。它們還在射頻濺射和蝕刻系統(tǒng)中被用作精密調節(jié)的偏壓電源。 優(yōu)勢:針對標準Z和低Z,應用的兩種配置,高頻開關電路從線路到負載的效率超過90% Arc-Out? 抑制電路 常用作直流磁控濺射電源 特點:尺寸小,輸出紋波很低,可調節(jié)抑弧。
AE射頻電源 Pinnacle
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