蘇州曼特萊精密電子有限公司通過國家真空設(shè)備質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心多年真空行業(yè)產(chǎn)品檢驗(yàn)檢測服務(wù)，分析真空行業(yè)獲得產(chǎn)品質(zhì)量狀況，提出真空產(chǎn)品存在的問題和產(chǎn)生原因及建議。
1、基本情況
我國真空行業(yè)起步于20 世紀(jì)五、六十年代，到90 年代后進(jìn)入快速發(fā)展期，近二十年真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域快速擴(kuò)展，目前其應(yīng)用領(lǐng)域遍布國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)，如航天航空、核工業(yè)、冶金及冶煉、汽車行業(yè)的零部件真空熱處理，電工行業(yè)、電子信息行業(yè)生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路的主要設(shè)備、造紙行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、食品和醫(yī)藥行業(yè)等等，同時成為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供重要設(shè)備的行業(yè)，為此真空產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和技術(shù)水平直接影響國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)，真空行業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量的檢督和**成為必要。
國家真空設(shè)備質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心于1987 年由真空行業(yè)**的***研究所沈陽真空技術(shù)研究所組建，是因真空行業(yè)發(fā)展的需求而建立，本中心1998 年通過中國合格評定國家認(rèn)可委員會認(rèn)可，是經(jīng)中國國家認(rèn)證認(rèn)可監(jiān)督管理委員會授權(quán)的第三方檢驗(yàn)檢測機(jī)構(gòu)，承擔(dān)行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)督和檢驗(yàn)工作，曾4 次承擔(dān)國家真空設(shè)備質(zhì)量監(jiān)督抽查任務(wù)、多次法院委托的仲裁檢驗(yàn)以及新產(chǎn)品檢驗(yàn)等，為真空行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品質(zhì)量水平的提高做出了重要貢獻(xiàn)。
1.1、真空行業(yè)的產(chǎn)銷及總體質(zhì)量情況
我國真空行業(yè)產(chǎn)品主要分三大類：1. 真空獲得設(shè)備：各類真空泵主要有旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、水環(huán)真空泵、干泵、分子泵等；2.應(yīng)用設(shè)備：真空鍍膜設(shè)備、各類真空爐等；3.真空儀表和真空配件：各類真空閥門和真空計等。
企業(yè)分布：真空行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)約有500 家，在國內(nèi)的地理分布主要為五大區(qū)域，遼寧地區(qū)(包括北京)、江浙區(qū)域(包括上海)、廣東地區(qū)、山東地區(qū)、西部(包括成都、蘭州)。
據(jù)2010 年中國通用機(jī)械工業(yè)年鑒公布統(tǒng)計50 家會員企業(yè)完成工業(yè)總產(chǎn)值(當(dāng)年價)40.73億元人民幣，其中實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入34.48 億元，完成出**易值2.04 億元， 完成工業(yè)銷售產(chǎn)值39.13 億元。
目前國內(nèi)真空應(yīng)用領(lǐng)域，國產(chǎn)獲得產(chǎn)品占主導(dǎo)地位，如旋片泵、水環(huán)泵、滑閥泵、羅茨泵、蒸汽流真空泵等低端真空獲得產(chǎn)品在性能方面基本能夠滿足不同的工藝過程要求，在國內(nèi)市場占有率較高；部分產(chǎn)品出品的比例逐年增加。對于**產(chǎn)品(指技術(shù)含量高的產(chǎn)品)無油真空泵(干泵等)，一直以來外商品牌產(chǎn)品在國內(nèi)市場占有率較高，但近幾年，國內(nèi)廠家在研發(fā)和生產(chǎn)有長足進(jìn)展，紛紛推出各種類型的干泵產(chǎn)品，并以其較高的性價比，得到了用戶的廣泛認(rèn)可，其市場占有率大幅度提高。
近十幾年，真空行業(yè)整體水平有大幅度提高，低端真空產(chǎn)品生產(chǎn)從設(shè)計水平到加工制造和性能都已趨向成熟，主要企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量比較穩(wěn)定，外觀質(zhì)量有了明顯的提高，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品有些技術(shù)指標(biāo)已接近或達(dá)到******。過去長期存在的噴油、漏油問題近幾年得到一定的控制，泵的材料性能得到改善，目前，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品的總體質(zhì)量水平能夠達(dá)到現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的約90%左右，主要問題為抽氣速率偏低，噪聲、振動偏大。蒸汽流真空泵的總體質(zhì)量水平能夠達(dá)到現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的約占80%左右，主要問題為極限壓力達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)要求，10-2 Pa 時測量抽速壓力不穩(wěn)定，造成抽速無法測量。整體看產(chǎn)品長期運(yùn)行的可靠性、噪聲和振動等性能與國外廠家產(chǎn)品相比有明顯差距。
**真空獲得產(chǎn)品(無油泵)發(fā)展較快，廠家增加迅速，發(fā)展方向由單泵向多級組合，機(jī)組化方向發(fā)展，產(chǎn)品的真空性能趨于穩(wěn)定，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，無油泵目前市場占有率大幅提升，整體性能水平接近國外產(chǎn)品。
2、綜合分析
2.1、檢驗(yàn)檢測情況
2.1.1、開展全行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測情況
繼1995 年*后一次國家監(jiān)督抽查以后，國家不在開展行業(yè)監(jiān)督抽查為真空行業(yè)健康發(fā)展，我中心與行業(yè)協(xié)會配合，進(jìn)行不定期全行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測，2009 年由行業(yè)協(xié)會委托，本中心開展了全行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測：本次檢測對旋片泵、滑閥泵、往復(fù)泵、水環(huán)真空泵、羅茨泵、油擴(kuò)散泵、真空閥門7 大類，40 余種產(chǎn)品進(jìn)行了產(chǎn)品型式檢驗(yàn)。有20 余家行業(yè)內(nèi)骨干企業(yè)參加，代表行業(yè)的整體水平，檢驗(yàn)結(jié)果為：參檢產(chǎn)品均達(dá)到真空行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，反映真空行業(yè)企業(yè)產(chǎn)品的性能水平整體基本達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求。
目前本中心的檢測任務(wù)為企業(yè)委托檢驗(yàn)檢測和新產(chǎn)品鑒定檢驗(yàn)檢測。2014 年真空產(chǎn)品委托檢驗(yàn)情況見表1。
表1 2014 年委托檢測基本情況表
2014 年委托檢測基本情況表
2.1.2、主要性能指標(biāo)情況
真空泵的用戶*關(guān)注的是滿足生產(chǎn)要求的基礎(chǔ)上進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率，反映到真空泵上就是真空泵的抽氣能力-“抽氣速率”，所以泵抽氣速率也是本中心的重點(diǎn)檢驗(yàn)項(xiàng)目。由于企業(yè)和用戶均十分重視泵的抽氣能力，近幾年中心對送檢的真空泵檢驗(yàn)的情況來看，該項(xiàng)目指標(biāo)基本保持穩(wěn)定，絕大多數(shù)企業(yè)產(chǎn)品達(dá)到國標(biāo)要求。
2.1.3、干式泵檢測情況
隨著整個社會環(huán)保意識的增強(qiáng)，油泵在醫(yī)藥、食品等許多行業(yè)領(lǐng)域?qū)⒈?a href="http://hfnfsm.com" class="keyword_inherit" name='keyword_inherit' target='_blank'>干式真空泵所取代，實(shí)現(xiàn)了無油清潔真空，近年來干式真空泵在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和薄膜工業(yè)已廣泛應(yīng)用，干式真空泵已發(fā)展到實(shí)用和普及的階段。近兩年送檢的干式真空泵數(shù)量明顯增加，對送檢的真空泵檢驗(yàn)的情況來看，國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的干式真空泵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求。
2.1.4、真空泵**性指標(biāo)情況
真空泵**性指標(biāo)較為常見的項(xiàng)目有真空泵振動噪聲、噴油、漏油、電氣絕緣強(qiáng)度等，真空泵振動噪聲：旋片泵的振動噪聲源于泵油對閥片的沖擊，配用電機(jī)以及振動、旋轉(zhuǎn)件等；滑閥泵的噪聲主要源于排氣、機(jī)構(gòu)振動和激勵、轉(zhuǎn)子動平衡配合、電機(jī)與軸承以及泵油的沖擊等多種因素疊加的結(jié)果；羅茨泵振動和噪聲源于轉(zhuǎn)子動平衡及其也有的軸承和齒輪精度不夠，該項(xiàng)指標(biāo)還有少部分產(chǎn)品達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)要求。真空泵的噴油：旋片泵滑閥泵在啟動時，大量噴出油滴、油霧造成環(huán)境污染，使人體受到傷害。主要原因?yàn)閾跤脱b置簡單，泵出口不加油霧分離器。真空泵噴油：旋片泵、滑閥泵、羅茨泵的動密封經(jīng)不住長期運(yùn)轉(zhuǎn)，國產(chǎn)動密封漏油現(xiàn)象比較普遍。近幾年生產(chǎn)廠家下力氣加以解決，成效顯著，噴油、噴油問題基本得到解決。電氣絕緣強(qiáng)度，蒸汽流真空泵的加熱器與泵外殼應(yīng)絕緣可靠，該項(xiàng)普遍都符合要求?？傮w看，真空泵**性指標(biāo)中，噪聲方面需要我們在設(shè)計、加工、選材方面深入的進(jìn)行研究，進(jìn)一步降低泵噪聲。
2.2、存在的問題及原因分析
1)偶有①旋片泵噴油漏油；②羅茨泵、滑閥泵、干泵噪聲高于國外先進(jìn)產(chǎn)品；③擴(kuò)散泵極限壓力達(dá)不到要求。真空閥門漏率達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)要求。
2) 國產(chǎn)真空泵與國外知名企業(yè)的泵相比普遍存在穩(wěn)定性和可靠性較差；真空行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)有些技術(shù)指標(biāo)制定的偏低，如滑閥泵比功率和噪聲指標(biāo)、擴(kuò)散泵的主要技術(shù)指標(biāo)，并且內(nèi)容涵蓋的不夠**，如羅茨泵的*高工作溫度、環(huán)保方面沒有規(guī)定，并且更新頻度有待加快。總體看國產(chǎn)真空泵的生產(chǎn)與國外先進(jìn)水平相比在設(shè)計、加工制造、裝配、檢測等諸環(huán)節(jié)還有一定差距，但是經(jīng)過真空界的有識之士和廣大用戶的共同努力，這種差距正在不斷縮小。
3)原因：設(shè)計研發(fā)方面：自主**投入差，缺乏自主**設(shè)計，以模仿為主；選用的密封部件質(zhì)量不過關(guān)、加工手段較落后。
沒有有效的產(chǎn)品耐久性可靠性的檢測，產(chǎn)品可能發(fā)生故障不了解，沒有有效的技術(shù)跟進(jìn)和技術(shù)改進(jìn)，耐久性可靠性檢測因?yàn)樵囼?yàn)要花費(fèi)大量時間和人力，在沒有強(qiáng)制要求的情況下，自覺的按標(biāo)準(zhǔn)要求去做的生產(chǎn)企業(yè)不多，而大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)不做任何可靠性試驗(yàn)，或不嚴(yán)格按照現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的無故障運(yùn)行期(類似壽命試驗(yàn))要求執(zhí)行，只在無負(fù)載情況下運(yùn)行，沒有達(dá)到耐久性和可靠性試驗(yàn)的要求。因此，產(chǎn)品的故障率較高。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂中顧及大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的技術(shù)能力，使有些技術(shù)指標(biāo)偏低和標(biāo)準(zhǔn)涵蓋不全。
由于真空行業(yè)真空產(chǎn)品生產(chǎn)無強(qiáng)制性產(chǎn)品認(rèn)證、生產(chǎn)許可證要求、近些年無國家質(zhì)量抽檢，企業(yè)生產(chǎn)狀況完全靠市場主導(dǎo)，不可避免有以次從好，假冒偽劣產(chǎn)品存在，制約行業(yè)健康發(fā)展。
3、建議
企業(yè)應(yīng)該注重提高產(chǎn)品品質(zhì)，進(jìn)一步提升產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)，提高加工制造水平，重視產(chǎn)品性能測試和可靠性測試，使企業(yè)真正了解產(chǎn)品性能，有效的技術(shù)跟進(jìn)和技術(shù)改進(jìn)來完善產(chǎn)品，另外真空泵的性能質(zhì)量不僅僅取決于生產(chǎn)廠商的制造本身，大量的配套產(chǎn)品對真空泵的質(zhì)量也起到了至關(guān)重要的作用，真空泵生產(chǎn)廠商應(yīng)該選用上等的配套產(chǎn)品，這對提高真空泵的產(chǎn)品質(zhì)量是至關(guān)重要的，如此才能打造具有市場競爭力的高品質(zhì)產(chǎn)品，注重市場需求，注重技術(shù)**，加大新產(chǎn)品研制與技術(shù)改造的投入，在市場經(jīng)濟(jì)條件下，需求決定供給，買方市場對產(chǎn)品質(zhì)量、性能、品種、價格、服務(wù)會不斷提出新的要求，技術(shù)**注重節(jié)能減排，著重降低產(chǎn)品能耗、減震、降噪，開發(fā)注重國際市場的開拓，適合市場的新產(chǎn)品，是占領(lǐng)市場的法寶。加強(qiáng)真空行業(yè)質(zhì)量監(jiān)督和管理、更好的發(fā)揮質(zhì)檢中心和標(biāo)準(zhǔn)化對行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)督和引導(dǎo)作用。
真空行業(yè)為各行各業(yè)提供基礎(chǔ)裝備，其應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，并不斷擴(kuò)大，如航天航空、核工業(yè)、冶金和冶煉、電工、電子信息的半導(dǎo)體、造紙、環(huán)保行業(yè)等等，真空設(shè)備的品種、性能、質(zhì)量和技術(shù)水平直接關(guān)系影響到國民經(jīng)濟(jì)的各行各業(yè)，特別是高新技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)裝備的能力，因此加強(qiáng)真空行業(yè)質(zhì)量監(jiān)督和管理，通過國家真空設(shè)備質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心為行業(yè)提供檢驗(yàn)檢測服務(wù)的渠道，掌握行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量狀況，為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定提供可靠的技術(shù)支撐，為政府部門提供權(quán)威產(chǎn)品質(zhì)量數(shù)據(jù)和分析對策，為行業(yè)提供技術(shù)質(zhì)量基礎(chǔ)信息和發(fā)展建議，從而更好的引導(dǎo)企業(yè)產(chǎn)品升級和質(zhì)量提升，使真空行業(yè)健康發(fā)展。
技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)是產(chǎn)品設(shè)計制造的靈魂，通過標(biāo)準(zhǔn)的提高和**，帶動和規(guī)范產(chǎn)品性能的提高，在標(biāo)準(zhǔn)修制訂中，要涉及環(huán)保、節(jié)能減排指標(biāo)和瞄準(zhǔn)國外先進(jìn)產(chǎn)品的指標(biāo)，以提高國內(nèi)產(chǎn)品的檔次，保證用戶的經(jīng)濟(jì)利益，引導(dǎo)企業(yè)采用先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，推動生產(chǎn)企業(yè)技術(shù)**和技術(shù)改造，淘汰落后，推動行業(yè)技術(shù)發(fā)展，提升產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力。