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產(chǎn)品資料

EBARA ESR系列 真空泵維修

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱(chēng): EBARA ESR系列 真空泵維修
產(chǎn)品型號(hào): ESR100WN
產(chǎn)品展商: EBARA真空泵維修
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵維修以及各類(lèi)進(jìn)口真空泵維修。配件確保原裝進(jìn)口，物美價(jià)廉。


EBARA ESR系列 真空泵維修  的詳細(xì)介紹
ESR系列是新研發(fā)的應(yīng)用廣泛的羅桿式干式真空泵，對(duì)于L/L，SEM等較輕負(fù)荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。 性能上具有排氣速度可調(diào)節(jié)，高通信處理功能，從而適應(yīng)了省功耗，占地面積小，重量輕的工藝要求。
 
特點(diǎn):
● *適合用于輕負(fù)荷的制程及腐蝕性氣體制程      
● 較低的運(yùn)行成本，省功耗，*大可節(jié)省60%（與本公司AA系列相比較）
● 無(wú)需N2來(lái)做軸密封（ESR20N）
● 小型化，重量輕，*大減少40% （與本公司AA系列相比較）
● 增加泵的轉(zhuǎn)速控制
● 高性能的通信機(jī)能
● 采用高度控制泵的運(yùn)轉(zhuǎn)方式
 
 
ESR Series
Specifications Unit ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
Pumping Speed 
50/60 Hz
抽氣速度
 		CFM
46 - 71
141 - 300
353 - 706
1059
L/min
1300 - 2000
4,000 - 8,500
10,000 - 20,000
30,000
M3/Hr
78 - 120
240 - 510
600 - 1,200
1,800
Ultimate Pressure 
50/60 Hz
底壓 		mTorr 5 1.5 1 1.5
Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
mBar 0.0067 0.002 0.0013 0.002
Connection
接口
Gas Inlet
NW 40
NW 50
ISO100
NW 100
Gas Outlet
NW 40
NW 40
NW 40
NW 40
Power at Ultimate Pressure
到達(dá)底壓時(shí)的功率  		KW
0.55 - 0.70
0.8 - 1.9
0.8 - 1.1
2.9
Maximum Power
*大功率 		KW 2.5 4.5 5 7.5
Cooling Water Requirements
冷卻水要求 		Min. Flow Rate 2 2 2 3.5
L/min
Bearing and Dilution N2
隔離和稀釋N2 		Bearing Seals
0 to 12
2 to 12
2 to 12
2 to 12
L/min
Cabinet Dimensions inches
25 x 11 x 12.6
26 x 15 x 25.8
31.1 x 15 x 25.8
33 x 19 x 35
LxWxH
外型尺寸  		mm
635 x 280 x 320
660 x 380 x 655
790 x 380 x 644
(825 x 460 x 880)
Weight
重量 		lbs 200 400 520 860
kg 90 180 250 390

產(chǎn)品名稱(chēng)：EBARA ESR100WN真空泵維修

蘇州曼特萊精密電子有限公司主營(yíng)：
一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原)：ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列，EBARA ESR100WN真空泵維修等
6、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其樂(lè))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

二、進(jìn)口真空泵配件銷(xiāo)售：
1、類(lèi)型：真空泵專(zhuān)用維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷(xiāo)、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷(xiāo)售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS專(zhuān)用真空油、ADIXEN專(zhuān)用真空油等。
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